A030 Ｘ線回折装置
規格：（株）リガク 全自動多目的X線回折装置 SmartLab3KW
概要：薄膜用X線回折装置は、厚さ数µm以下の薄い結晶膜やアモルファス膜の構造を調べるための装置です。
一般的な構造解析用のX線回折装置と比べて、10倍以上の高い精度で測定することができます。
この装置は、結晶の繰り返し構造の大きさを調べるだけでなく、結晶がどの程度きれいに揃っているのか、
あるいは並び方にどのようなばらつきがあるのかを評価するために主に用いられます。
また、薄膜がどの程度反っているのか、どのような歪みをもっているのかを調べたり、膜の厚さを測定した
りすることもできます。
そのため、半導体材料や機能性薄膜の研究・開発において欠かせない評価装置の一つとなっています。
線源：封入管式, Cu, 40 kV, 50 mA
ゴニオメーター半径：300 mm
試料台：φ 4-inch, RxRy, χφ, XY
標準光学系：平行法 (PB), Ge(220) x2
オプション光学系：集中法 (BB), 微小部 (MA)，小角散乱 (SA), Ge(220) x4
検出器：半導体検出器 HyPix-3000 (0D, 1D, 2D)
測定法：2θ/ω, XRC, Skew, in-plane, polar, RSM, 粉末, XRR, Powder, etc.
補足：高温測定，雰囲気制御はできません
付帯条件：X線回折測定および固体結晶に関する基礎知識があること。
注意事項：依頼測定も引き受けます。測定内容を聞いたうえで、測定時間を見積もります。（時間あたり1万円程度。）
